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产品介绍 周边设备 977 晶圆清洗机

977 晶圆清洗机


高效的紧凑型清洗装置,为您的流程提供支持

977晶圆清洗机系统专为切割后工件清洗和干燥而设计,配有旋转卡盘台、旋转清洗/干燥臂。臂可配置雾化清洁喷嘴或高压喷嘴,满足各种清洁度要求。


系统亮点:

紧凑设计>占地面积小

• 一键式启动,自动导线盖关闭>操作快速简便

• 可编程序列控制>支持各种应用

• 坚固的机械和电气设计>高可靠性

• 先进的清洗/干燥臂配置>高清洁和干燥性能




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