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产品介绍 周边设备 977 晶圆清洗机

977 晶圆清洗机


晶圆清洗机

专为切割后工件清洗和干燥而设计,配有旋转卡盘台、旋转清洗/干燥臂。臂可配置雾化清洁喷嘴或高压喷嘴,满足各种清洁度要求。


系统亮点:

紧凑设计>占地面积小

• 一键式启动,自动导线盖关闭>操作快速简便

• 可编程序列控制>支持各种应用

• 内置真空支架>提高贴膜精度




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