針對切割加工用純水阻抗值調整裝置，並抑制微粒的粘附所帶來的靜電，降低對半導體元件的不良影響
947 特點
1. 使用PID控制純水阻值，以保持最佳且均勻電阻率分布
2. 目標阻值及誤差範圍可設定
3. 螢幕顯示狀態和警報指示器
4. 獨創的噴氣器技術，減少二氧化碳消耗
5. Footprint小節省空間
6. 堅固耐用的設計可靠性高，免維護
7. 環保設計
純水阻值調整機-947 相關規格
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947 CO2发泡机.pdf
