高效的緊湊型清洗裝置，爲您的流程提供支持
977晶圓清洗機系統設計用於在切割後清洗工件。
系統有三種基本配置：
• WCS-977：圓形晶片，最大8"
• WCS-97LA：圓形晶片，最大12"
系統亮點：
• 霧化清洗
• 自動蓋閉合
• 直觀控制面板
• 過程監控
• 緊湊型設計
• 堅固，無振動
• 環保
• 選項：
• 內置排霧裝置
• 二氧化碳注入
• 定製卡盤
• 清洗添加劑
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周邊設備手冊.pdf
