2",直流無刷,1.2 kW,前置掛載,空氣軸承主軸(最高轉速60rpm),閉環轉檯。
經過優化,適用於200 mm x 200 mm較薄和小公差產品的多角度切割,如:
• 光電組件
• PCB BGA面板
• 高亮LED封裝
• 硅晶圓
• SAW過濾器
• 玻璃/硅傳感器
• 微機電系統(MEMS)
• PZT
系統規格:
工件尺寸:最大200 x 200mm
刀片尺寸: 2"-3"
主軸:空氣軸承,直流無刷,60 krpm/1.2 kW
大功率2.4kW主軸(可選件)
分度軸(y)
驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配步進電機
控制:線性編碼器
分辨率: 0.2 µm
累積精度:1.5 µm
分度精度:1.0 µm
傳送軸(X)
氣動滑塊
驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配直流無刷電機
傳送速度:高達 600 mm/sec
切割深度軸(z)
驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配步進電機
分辨率:0.2 µm
精度: 2.0 µm
重複精度: 1.0 µm
行程: 50 mm
旋轉編碼器
Z線性編碼器 - 可選
Z間隙高達3" - 可選
旋轉軸 (Ø)
驅動:閉環、直接驅動、直流無刷
精度: 4 arc-sec
重複精度: 4 arc-sec
行程:350度
視覺系統
數碼攝像頭、Fire-Wire技術、高亮LED照明(直射和斜射)
x55-x210或x35-x140(可選)連續數字變焦。
設施
電氣:200-240VAC,50/60Hz,單相
氣源:260 L/min @ 5.5 bar
主軸冷卻水:1.1 L/min 廠務端用水
切割用水:3L/min
尺寸(WXDXH)
965×1300×1600 mm
重量: 900 kg