7134

4" 高功率空氣軸承主軸，30krpm時最高2.5KW。
直流無刷電機，閉環速度控制。

覆蓋最高 12" 的圓形產品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤（不帶框架）。

系統配有閉環轉向臺，針對多角度切割進行優化，適用各種產品，例如：

• 陶瓷基板
• 氧化鋁
• 混合物
• 厚膜設備等

系統規格：

大面積系統配置：最高300mm x 300mm

刀片尺寸：4"-5"

主軸：空氣軸承，直流無刷，30 krpm/2.5 kW

分度軸（y）

驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進電機

控制：線性編碼器

分辨率：0.2 µm

累積精度：1.5 µm

分度精度：1.0 µm

傳送軸（X）

氣動滑塊

驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無刷電機

傳送速度：高達 600 mm/sec

切割深度軸（z）

驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進電機

分辨率：0.2 µm

精度：2.0 µm

重複精度：1.0 µm

行程：50 mm

旋轉編碼器

Z線性編碼器 - 可選件

Z間隙高達3" - 可選

旋轉軸 (Ø)

驅動：閉環、直接驅動、直流無刷

精度：4 arc-sec

重複精度：4 arc-sec

行程：350度

視覺系統

數碼攝像頭、Fire-Wire技術、高亮LED照明（直射和斜射）

x55-x210或x35-x140（可選）連續數字變焦。

設施

電氣：200-240VAC，50/60Hz，單相

氣源：260 L/min @ 5.5bar

主軸冷卻水：1.1 L/min廠務端用水

切割用水：最高3L/min

尺寸（WXDXH）

965×1300×1600 mm

重量：900 kg