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前置挂载安装 2" 空气轴承主轴，60krpm时最高2.4KW。直流无刷电机，闭环速度控制。兼容 2"-3" 轮毂和无轮毂刀片。覆盖最高 12" 的圆形产品、12" x 9" 方形基板带框架或 12" x 12" 卡盘（不带框架）。

系统配有闭环转向台，针对大面板和多面板进行优化，例如:

• SAW过滤器

系统规格:

大面积系统配置：最高300mm x 300mm

刀片尺寸：2"-3"

主轴：空气轴承，直流无刷，60 krpm/2.4 kW

大功率2.4kW主轴（可选件）

分度轴（y）

驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机

控制：线性编码器

分辨率: 0.2 µm

累积精度: 1.5 µm

分度精度: 1.0 µm

传送轴（X）

气动滑块

驱动装置：滚珠轴承丝杆，配直流无刷电机

传送速度：高达 600 mm/sec

切割深度轴（z）

驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机

分辨率: 0.2 µm

精度: 2.0 µm

重复精度: 1.0 µm

行程: 50 mm

旋转编码器

Z线性编码器 - 可选件

Z间隙高达3" - 可选

旋转轴 (Ø)

驱动：闭环、直接驱动、直流无刷

精度: 4 arc-sec

重复精度: 4 arc-sec

行程: 350 deg.

视觉系统

数码摄像头、Fire-Wire技术、高亮LED照明（直射和斜射）

x55-x210或x35-x140（可选）连续数字变焦。

设施

电气：200-240VAC，50/60Hz，单相

气源: 260 L/min @ 5.5 bar

主轴冷却水：1.1 L/min厂务端用水

切割用水：最高3L/min

尺寸（WXDXH）

965×1300×1600 mm

重量: 900 kg