前置掛載安裝 2" 空氣軸承主軸，60krpm時最高2.4KW。直流無刷電機，閉環速度控制。
兼容 2"-3" 輪轂和無輪轂刀片。覆蓋最高 12" 的圓形產品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤（不帶框架）。
系統配有閉環轉向臺，針對大面板和多面板進行優化，例如:
• 12"和8"硅晶圓
• PCB、QFN和BGA面板
• 高亮LED封裝
• SAW過濾器
系統規格:
大面積系統配置：最高300mm x 300mm
刀片尺寸：2"-3"
主軸：空氣軸承，直流無刷，60 krpm/2.4 kW
大功率2.4kW主軸（可選件）
分度軸（y）
驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進電機
控制：線性編碼器
分辨率: 0.2 µm
累積精度: 1.5 µm
分度精度: 1.0 µm
傳送軸（X）
氣動滑塊
驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無刷電機
傳送速度：高達 600 mm/sec
切割深度軸（z）
驅動裝置：滾珠軸承絲桿，配步進電機
分辨率: 0.2 µm
精度: 2.0 µm
重複精度: 1.0 µm
行程: 50 mm
旋轉編碼器
Z線性編碼器 - 可選件
Z間隙高達3" - 可選
旋轉軸 (Ø)
驅動：閉環、直接驅動、直流無刷
精度: 4 arc-sec
重複精度: 4 arc-sec
行程: 350 deg.
視覺系統
數碼攝像頭、Fire-Wire技術、高亮LED照明（直射和斜射）
x55-x210或x35-x140（可選）連續數字變焦。
設施
電氣：200-240VAC，50/60Hz，單相
氣源: 260 L/min @ 5.5 bar
主軸冷卻水：1.1 L/min廠務端用水
切割用水：最高3L/min
尺寸（WXDXH）
965×1300×1600 mm
重量: 900 kg
7120/7130 手册.pdf
